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    铝膜

    产品属性

    • 所属分类:铝膜
    • 产品编号:1641370630
    • 浏览次数:0
    • 发布日期:2022-01-05
    • 产品概述
    • 性能特点
    • 技术参数

    现提供一种铝膜工艺方法,能完全去除聚合物,保护铝膜不会被腐蚀。


    铝膜工艺方法适用于厚度不低于的铝膜,去除金属膜时去掉聚合物,再用湿法刻蚀加干法刻蚀将剩余聚合物完全去除。去除金属膜采用氧气流和水剥离的方法。进一步地,去除金属膜时温度控制在230~270℃。氧气流使用工艺参数为:压力2Torr,射频功率0W,氧气流量4000sccm,时间为20s;水剥离使用工艺参数为:压力2Torr,射频功率1400w,水蒸气流量500sccm,时间为60s。在金属膜剥离时去除聚合物,再用湿法刻蚀和干法刻蚀完全去除剩余的聚合物,能将聚合物去除干净,增加后续工艺腐蚀窗口。


    具体实施方式

    1.一种铝膜工艺方法,适用于厚度不低于的铝膜,其特征在于:去除金属膜时去掉聚合物,再用湿法刻蚀加干法刻蚀将剩余聚合物完全去除。

    2.铝膜工艺方法,其特征在于:去除金属膜采用氧气流和水剥离的方法。

    3.铝膜工艺方法,其特征在于:去除金属膜时温度控制在230~270℃。

    4.铝膜工艺方法,其特征在于:氧气流使用工艺参数为:压力2Torr,射频功率0W。

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